部件安装装置及方法

摘要

本发明提供一种部件安装装置及方法。采用的结构是，通过配置在X轴梁的下方侧的X轴梁支承体来支承对安装头进行支承的X轴梁的两端，通过由与X轴梁支承体分体地形成且配置在X轴梁的上方侧的Y轴驱动部支承体支承的Y轴驱动部，对X轴梁的上部赋予Y轴方向的驱动力。由此，能够降低由于安装头或X轴梁的移动而产生的激振力的向Y轴驱动部支承体的传递量，从而能够提高安装头的移动控制的精度。

主权项

一种部件安装装置，该部件安装装置使安装头在X轴方向及Y轴方向上移动，并利用安装头向基板上安装部件，所述X轴方向及Y轴方向是沿着载置在基板工作台上的基板的表面且相互正交的方向，所述部件安装装置具备：X轴梁，其将安装头支承为能够沿着X轴方向移动；X轴梁支承体，其配置在X轴梁的下方侧，以使X轴梁能够沿着Y轴方向移动的方式而对X轴梁的两端进行支承；Y轴驱动部，其对X轴梁的中央上部赋予Y轴方向的驱动力，从而使X轴梁沿着Y轴方向移动；Y轴驱动部支承体，其在X轴梁的上方侧支承Y轴驱动部，并且与X轴梁支承体分体形成，且具有Y轴方向比X轴方向高的刚性；以及基台，其支承基板工作台，并且支承X轴梁支承体及Y轴驱动部支承体。