| 发明名称 | 一种硅烷中杂质的去除方法及用于该方法的设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种硅烷中杂质的去除方法，该方法为将硅烷通入热分解管中进行热分解后去除固体杂质；所述热分解的温度为200-500℃，所述热分解管的长度为0.5-3m，硅烷的流量为0.1-5L/min。本发明还提供了一种去除硅烷中杂质所用的设备。本发明的方法除杂效果明显，并且节约能源。 | ||
| 申请公布号 | CN103359738A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201210086015.5 | 申请日期 | 2012.03.28 |
| 申请人 | 比亚迪股份有限公司 | 发明人 | 胡亚林;丁显波;宋兆德;王宁 |
| 分类号 | C01B33/04(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种硅烷中杂质的去除方法，其特征在于，该方法为将硅烷通入热分解管中进行热分解后去除固体杂质；所述热分解的温度为200‑500℃，所述热分解管的长度为0.5‑3m，硅烷的流量为0.1‑5L/min。 | ||
| 地址 | 518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号 | ||