光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法

摘要

一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具有系统结构简单、操作方便、能有效、快速地对光束监测系统的光束位置和指向测量光路进行标定。

主权项

一种光刻机光束监测系统的标定装置，其特征在于该装置包括照明单元（1），指向偏移引入单元（2），光束位置偏移引入单元（3）和控制单元（4），所述的照明单元（1）由依次的激光器（101）、准直镜（102）和小孔光阑（103）组成，所述的光束指向偏移引入单元（2）由一个双圆光楔（201）及承载它的电动平台组成，所述的光束位置偏移引入单元（3）由第一平行平板（301）、第二平行平板（302）及承载它们的电动平台组成，所述的控制单元（4）包括多功能数据采集卡和计算机，上述元部件的位置关系如下：所述的照明单元（1）、光束指向偏移引入单元（2）和光束位置偏移引入单元（3）共光轴地安装与一个套筒内，沿所述的激光器（101）的激光输出方向依次是同光轴的所述的准直镜（102）、小孔光阑（103）、双圆光楔（201）、第一平行平板（301）、第二平行平板（302），所述的控制单元（4）的输出端分别与所述的光束指向偏移引入单元（2）的电动平台和所述的光束位置偏移引入单元（3）的电动平台相连。