用于制造基板的装置和方法

摘要

本发明提供了一种基板制造装置以及一种基板制造方法，该基板装置装置包括测试装置，该测试装置包括用于在基板上执行测试工艺的测试处理器模块。测试处理器模块可以包括用于传送基板的输送装置，用于在基板上执行测试工艺的处理器单元以及用于在输送单元与处理器单元之间传送基板的传送单元。该输送单元可以包括供给输送装置以及与供给输送装置分隔开的排出输送装置。

主权项

一种基板制造装置，包括：测试装置，包括用于在基板上执行测试工艺的测试处理器模块，其中所述测试处理器模块包括：输送单元，用于传送基板；处理器单元，用于在所述基板上的多个单元基板上执行所述测试工艺；以及传送单元，包括传送机器人，用于在所述输送单元和所述处理器单元之间传送所述基板，其中所述输送单元包括：供给输送装置；以及排出输送装置，与所述供给输送装置间隔开。