光学等级的表面加工工具

摘要

本发明公开了一种光学等级表面加工工具包括：刚性支承件(60)；可弹性压缩的界面(12)，该界面附接在刚性支承件(60)上；柔性垫(13)，该柔性垫用于压靠要加工的表面(71)，在与刚性支承件(60)相反的一侧附接在界面(12)上；以及返回弹簧装置(14)，该返回弹簧装置布置在所述刚性支承件(60)和所述界面(12)的周边部分(12b)之间；其特征在于：所述返回弹簧装置(14)包括多对重叠的弹性柔性叶片(65、66)，这些弹性柔性叶片分别从刚性支承件(60)横向凸出，第一叶片(65)有远处部分，该远处部分配合成通过第一面而排他地与界面(12)的所述周边部分(12b)支承接合，且第二叶片(66)配合成通过在第一叶片第一面的相反侧的第二面而与第一叶片(65)支承接合。

主权项

一种光学等级表面加工工具，包括：刚性支承件（60），该刚性支承件有横向的端表面（25a）；可弹性压缩的界面（12），该界面附接在刚性支承件（60）上，包括中心部分（12a）和周边部分（12b），该中心部分（12a）与刚性支承件（60）的所述端表面（25a）对齐，该周边部分（12b）横向超过刚性支承件（60）的所述端表面（25a）；柔性垫（13），该柔性垫用于压靠要加工的表面（71），在与刚性支承件（60）相反的一侧附接在界面（12）上，并包括中心部分（13a）和周边部分（13b），该中心部分（13a）与刚性支承件的所述端表面（25a）对齐，该周边部分（13b）横向超过刚性支承件的所述端表面（25a）；以及返回弹簧装置（14），该返回弹簧装置布置在所述刚性支承件（60）和所述界面（12）的周边部分（12b）之间，垫（13）的所述周边部分（13b）、界面（12）的所述周边部分（12b）和返回弹簧装置（14）的组合形成用于在表面加工过程中使得工具（10）稳定的装置，所述工具用于基本在垫（13）的所述中心部分（13a）中进行表面加工；其特征在于：所述返回弹簧装置（14）包括多对重叠的弹性柔性叶片（65、66；65'、66），这些弹性柔性叶片分别从刚性支承件（60）横向凸出，各对叶片中的第一叶片（65；65'）有远处部分，该远处部分配合成通过第一面而排他地与界面（12）的所述周边部分（12b）支承接合，且第二叶片（66）配合成通过在第一叶片第一面的相反侧的所述远处部分的第二面而排他地与第一叶片（65；65'）支承接合。