| 发明名称 | 一种氮化硅复合材料的制备方法及其制备的基板 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化硅复合材料的制备方法，该方法包括：将P2O5、ZnO、NaF、B2O3混合制备成玻璃粉体；将所述玻璃粉体与氮化硅粉体混合制备成混合粉料；将所述混合粉料干压成型制备预烧结体；将所述预烧结体进行排胶和烧结制备成所述氮化硅复合材料。本发明还公开了利用该氮化硅复合材料制备的基板。本发明选用低介电常数NaF-ZnO-P2O5-B2O3系玻璃与氮化硅复合通过低温烧结制备致密的氮化硅复合材料，并将该氮化硅复合材料制备基板，该基板的介电常数可达4左右，介电损耗可达0.0008左右。 | ||
| 申请公布号 | CN103360078A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201210097051.1 | 申请日期 | 2012.04.05 |
| 申请人 | 深圳光启创新技术有限公司 | 发明人 | 刘若鹏;季春霖;李雪 |
| 分类号 | C04B35/622(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C03C12/00(2006.01)I | 主分类号 | C04B35/622(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种氮化硅复合材料的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：a、将P2O5、ZnO、NaF、B2O3混合制备成玻璃粉体；b、将所述玻璃粉体与氮化硅粉体混合制备成混合粉料；c、将所述混合粉料干压成型制备预烧结体；d、将所述预烧结体进行排胶和烧结制备成所述氮化硅复合材料。 | ||
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