发明名称 |
光栅分布反馈量子级联激光器 |
摘要 |
本发明提供了一种光栅分布反馈量子级联激光器。该光栅分布式量子级联激光器包括:衬底;以及在该衬底上依次生长的下波导层,下光限制层,有源区,上光限制层,等效相移光栅,上波导层;其中,在所述上光限制层的上表面具有等效相移光栅,该等效相移光栅包括均匀光栅、采样光栅和π相移结构。与传统均匀光栅的制作工艺相比,本发明等效相移光栅制作工艺要简单的多,从而极大降低了光栅分布反馈量子级联激光器的制备难度。 |
申请公布号 |
CN103368071A |
申请公布日期 |
2013.10.23 |
申请号 |
CN201310308727.1 |
申请日期 |
2013.07.22 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
张锦川;刘峰奇;卓宁;王利军;刘俊岐;王占国 |
分类号 |
H01S5/125(2006.01)I;H01S5/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/125(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
曹玲柱 |
主权项 |
一种光栅分布反馈量子级联激光器,其特征在于,包括:衬底;以及在该衬底上依次生长的下波导层,下光限制层,有源区,上光限制层,等效相移光栅,上波导层; 其中,在所述上光限制层的上表面具有等效相移光栅,该等效相移光栅包括均匀光栅、采样光栅和π相移结构。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |