一种真空计冷规保护装置

摘要

一种真空计冷规保护装置，安装于晶体生长炉炉体真空感应出气口内，包括有若干沿出气口出气方向排列的滤片，以及固定该若干滤片且使其间隔排列的固定件，滤片上设有至少一出气孔。本实用新型的真空计冷规保护装置，采用铜质滤片能阻挡高温下产生的氧化物质，从而使晶体生长过程中，冷规对真空度的感应更加灵敏，且在操作过程中，能更准确地读取真空值，以有效地保护晶体生长质量，延长冷规的使用寿命。

主权项

一种真空计冷规保护装置，安装于晶体生长炉炉体真空感应出气口内，其特征在于：包括有若干沿出气口出气方向排列的滤片，以及固定该若干滤片且使其间隔排列的固定件，滤片上设有至少一出气孔。