一种大行程三自由度直线式快速刀具伺服装置

摘要

本发明涉及一种大行程三自由度直线式快速刀具伺服装置，属于超精密车削以及光学精密零件车削加工等技术领域，适用于曲率半径变化较大的自由曲面创成式加工。本发明采用三个音圈电机驱动主柔性铰链装置实现金刚石刀具在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向的高频往复直线运动。本发明涉及的解耦装置可以实现将所述的一种大行程三自由度直线式快速刀具伺服装置在各自由度方向产生的耦合位移控制在纳米级，实现精密解耦。本发明具有结构简单、成本低、效率高等优点。本发明涉及的一种大行程三自由度直线式快速刀具伺服装置可以实现多自由度、高频、大行程往复直线运动。

主权项

一种大行程三自由度直线式快速刀具伺服装置，其特征在于：左支板3a、右支板3b、后支板2b分别与基座1、上盖板4固定连接；后侧板2a与底座1固定连接；上侧板5a1、5a2分别与上盖板4、上支板5b固定连接；主柔性铰链6与基座1、上盖板4固定连接。