发明名称 Resonant device with piezoresistive detection made using surface technologies
摘要 <p>La présente invention concerne un dispositif résonant à détection dans le plan piézorésistive réalisé en technologies de surfaces sur un substrat, qui comprend un résonateur (10) relié à ce substrat par au moins un encastrement (12), des moyens d'excitation (14) de ce résonateur et des moyens de détection comprenant au moins une jauge de contrainte de type poutre suspendue réalisée en matériau piézorésistif (11), dans lequel chaque jauge de contrainte a un plan commun avec le résonateur, et est relié à ce résonateur (10) en un point situé en dehors de cet au moins un encastrement (12) pour augmenter 1a contrainte vue par cette jauge de contrainte. </p>
申请公布号 EP2008965(A3) 申请公布日期 2013.10.23
申请号 EP20080158743 申请日期 2008.06.23
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 ROBERT, PHILIPPE
分类号 B81B3/00;G01C19/00;G01C19/56;G01L1/18;G01P15/08;G01P15/097;H03H9/02 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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