一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵

摘要

本实用新型涉及微流体传输与控制以及微机械技术领域，特指一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵。包括射流控制元件，其特征在于：射流控制元件由一个三通管和三个直流管组成，其中三通管是由一个汇流锥管和两个相同的分流管组成的三通结构，两个分流管的一端与汇流锥管截面积较大的一端连通，另一端分别与进出口腔连通，三个直流管的一端分别连接三个下泵腔，另一端交汇并与汇流锥管最小截面连通，射流控制元件关于汇流锥管中心线呈中心对称。本实用新型的有益效果是：结构简单，易于微型化，泵的容积效率高，并且可以实现双向输送流体。

主权项

一种基于附壁效应的三腔无阀压电泵，包括泵体、泵盖和三个压电振子，泵体和泵盖键合，三个压电振子固定于泵盖上方，泵盖上设置有三个上泵腔，一个进口和一个出口，泵体上设置有对应于上泵腔的三个下泵腔，进口腔、出口腔以及射流控制元件；三个下泵腔与三个上泵腔分别连通，进出口腔分别与泵的进出口连通，其特征在于：射流控制元件由一个三通管和三个直流管组成，其中三通管是由一个汇流锥管和两个相同的分流管组成的三通结构，两个分流管的一端与汇流锥管截面积较大的一端连通，另一端分别与进出口腔连通，三个直流管的一端分别连接三个下泵腔，另一端交汇并与汇流锥管最小截面连通，射流控制元件关于汇流锥管中心线呈中心对称。