| 发明名称 | 一种调焦调平装置及调焦调平方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种调焦调平装置，用于调整待测面的焦平面及自身零平面校正，包括：光源模块、光学透镜模块、被测对象以及探测器模块，其特征在于，该光学透镜模块包括投影光阑、调焦双光楔组件、投影光学组件、零平面调整组件和探测光学组件，该光源模块发出的光束经过投影光阑、投影光学组件、第一调焦双光楔后经该被测对象反射形成反射光束，该反射光束依次经过投影光学组件、零平面调整组件以及第二调焦双光楔后被该探测器模块接收。本发明同时提供一种调焦调平方法。 | ||
| 申请公布号 | CN103365103A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201210101739.2 | 申请日期 | 2012.04.10 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 卢丽荣;李志丹;张冲 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种调焦调平装置，用于调整待测面的焦平面及自身零平面校正，包括：光源模块、光学透镜模块、被测对象以及探测器模块，其特征在于，所述光学透镜模块包括投影光阑、调焦双光楔组件、投影光学组件、零平面调整组件和探测光学组件，所述光源模块发出的光束经过投影光阑、投影光学组件、第一调焦双光楔后经所述被测对象反射形成反射光束，所述反射光束依次经过投影光学组件、零平面调整组件以及第二调焦双光楔后被所述探测器模块接收。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||