旋转阀和吸附分离装置

摘要

本发明提供一种具备用来将含有水蒸气的处理气体供给多个处理工序的滑动部件的旋转阀、以及使用这样的旋转阀的吸附分离装置。该旋转阀包括具备滑动部件(1、2；4、6)的机械密封机构，该滑动部件具有相互滑动的滑动面并且流路(8、9、10)在该滑动面开口，该机械密封机构通过对滑动面施压来密封流体同时滑动，从而切换上述流路(8、9、10)，其特征在于，该滑动部件(1、2；4、6)的滑动面侧由硬度不同的疏水性部件(2、4)构成。

主权项

一种旋转阀，是用来将含有水分的空气供给多个处理工序的旋转阀，具备机械密封机构，该机械密封机构具有两个滑动部件，这两个滑动部件具有相互滑动的滑动面并且流路在该滑动面开口，该机械密封机构通过对该滑动面施压来密封流体并切换上述流路，其特征在于，上述两个滑动部件都具有以下结构：滑动面侧由疏水性部件构成，该滑动面的相反侧由刚性高于上述疏水性部件的部件构成，这些疏水性部件和高刚性部件接合从而一体化，上述两个滑动部件的一方是固定部件，另一方是旋转部件，旋转部件的上述疏水性部件由添加了碳作为填料的聚四氟乙烯树脂构成，固定部件的上述疏水性部件由添加了聚酰亚胺作为填料的聚四氟乙烯树脂构成。