发明名称 一种籽晶夹持器
摘要 本发明提供一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。采用本发明的籽晶夹持器,在硅单晶生长过程中,可以避免发生籽晶断裂,延长了籽晶的使用寿命;大大提高了大直径硅单晶生产的安全性,适用于生长重量不超过600kg的大直径硅单晶。
申请公布号 CN103361716A 申请公布日期 2013.10.23
申请号 CN201210100151.5 申请日期 2012.04.06
申请人 有研半导体材料股份有限公司 发明人 戴小林;吴志强;汪丽都;崔彬;姜舰;邓树军;王雅楠;朱秦发;叶松芳
分类号 C30B15/32(2006.01)I 主分类号 C30B15/32(2006.01)I
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人 郭佩兰
主权项 一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,其特征在于:该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。
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