发明名称 |
一种籽晶夹持器 |
摘要 |
本发明提供一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。采用本发明的籽晶夹持器,在硅单晶生长过程中,可以避免发生籽晶断裂,延长了籽晶的使用寿命;大大提高了大直径硅单晶生产的安全性,适用于生长重量不超过600kg的大直径硅单晶。 |
申请公布号 |
CN103361716A |
申请公布日期 |
2013.10.23 |
申请号 |
CN201210100151.5 |
申请日期 |
2012.04.06 |
申请人 |
有研半导体材料股份有限公司 |
发明人 |
戴小林;吴志强;汪丽都;崔彬;姜舰;邓树军;王雅楠;朱秦发;叶松芳 |
分类号 |
C30B15/32(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
郭佩兰 |
主权项 |
一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,其特征在于:该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。 |
地址 |
100088 北京市西城区新街口外大街2号 |