测试系统及其测试方法

摘要

一种测试系统，适用于具有数个快闪存储器晶粒的一晶圆。上述测试系统包括一测试机台以及一探针卡。上述测试机台提供一测试请求。上述探针卡经由一特定传输线耦接于上述测试机台。上述探针卡包括数个探针以及一控制器。上述探针接触于上述晶圆的至少一上述快闪存储器晶粒。上述控制器根据上述测试请求，经由上述探针写入一测试数据至上述快闪存储器晶粒，并从上述快闪存储器晶粒读取出上述测试数据。上述控制器根据所读取的上述测试数据，提供一测试结果至上述测试机台。

主权项

一种测试系统，适用于具有数个快闪存储器晶粒的一晶圆，包括：一测试机台，用以提供一测试请求；以及一探针卡，经由一特定传输线耦接于上述测试机台，包括：数个探针，用以接触于上述晶圆的至少一上述快闪存储器晶粒；以及一控制器，用以根据上述测试请求，经由上述探针写入一测试数据至上述快闪存储器晶粒，并从上述快闪存储器晶粒读取出上述测试数据；其中上述控制器根据所读取的上述测试数据，提供一测试结果至上述测试机台。