一种N型重掺磷母合金硅棒制备工艺

摘要

一种N型重掺磷母合金硅棒制备工艺，步骤包括，选用一台单晶炉，采用20”石墨热场和20”石英坩埚，装料量70公斤硅多晶，加热熔化；将520克“N”高纯赤磷装入石英掺杂器中；将适应掺杂器装在籽晶卡口，升入单晶炉副室中导气，再打开翻板阀将石英掺杂器降到已测试好的390mm位置，使其升华自动导入到硅熔体中，并在晶棒转速12转/分，坩埚转速8转/分，晶棒头部拉速1.1mm/分，炉压2000-2500Pa的条件下进行拉晶；所拉制的晶棒，可以切成2厘米厚的圆饼状，按电阻率分档，然后采用水淬技术处理，酸洗后采用硅块互碰法，制得尺寸为5-20毫米的碎块，再分档包装，贴好标签可自用或出售。保证了制作N型重掺磷母合金硅棒时的安全性，有使得晶棒电阻率均匀且范围在0.001-0.005欧姆厘米。

主权项

一种N型重掺磷母合金硅棒制备工艺，其特征在于，工艺步骤包括，1）选用一台单晶炉，采用20”石墨热场和20”石英坩埚，装料量70公斤硅多晶，加热熔化；2）将520克“N”高纯赤磷装入石英掺杂器中；3）将适应掺杂器装在籽晶卡口，升入单晶炉副室中导气，再打开翻板阀将石英掺杂器降到已测试好的390mm位置，使其升华自动导入到硅熔体中，并在晶棒转速12转/分，坩埚转速8转/分，晶棒头部拉速1.1mm/分，炉压2000‑2500Pa的条件下进行拉晶；4）所拉制的晶棒，可以切成2厘米厚的圆饼状，按电阻率分档，差值为0.0005欧姆厘米，然后采用水淬技术处理，酸洗后采用硅块互碰法，制得尺寸为5‑20毫米的碎块，再分档包装，贴好标签可自用或出售。