| 发明名称 | 可自成像成膜聚合物、其组合物以及由其制得的器件和结构 | ||
| 摘要 | 聚合物和包含此种聚合物的形成可自成像膜的组合物，此种聚合物包含具有至少一个酚类官能团的降冰片烯型重复单元和马来酸酐型重复单元，其可以配制为正色调成像或负色调成像。据此形成的膜可用作微电子器件，例如半导体，和光电子器件制造中的可自成像层。 | ||
| 申请公布号 | CN103370347A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201180056522.8 | 申请日期 | 2011.11.23 |
| 申请人 | 普罗米鲁斯有限责任公司;住友电木株式会社 | 发明人 | 大治;阳雄池田;L·F·罗德斯;P·坎达纳拉彻驰 |
| 分类号 | C08F222/06(2006.01)I;C08F220/52(2006.01)I;C08F210/14(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I | 主分类号 | C08F222/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 杨立芳 |
| 主权项 | 1.成膜的聚合物组合物，包含：聚合物，所述聚合物包含衍生自由式II表示的单体的马来酸酐型重复单元：<img file="FDA0000365612180000011.GIF" wi="559" he="232" />其中Z是O或NR<sup>5</sup>，其中R<sup>5</sup>是氢或R<sup>*</sup>-OH，其中R<sup>*</sup>是烷基、芳基或烷芳基连接基，和所述聚合物包含衍生自选自以下结构通式的单体的第一降冰片烯型重复单元：<img file="FDA0000365612180000012.GIF" wi="1449" he="764" />其中n是1-5的整数；W是H或烷基、醚或酮；浇铸溶剂；和与一种或多种交联性添加剂结合的光活性化合物或光酸产生剂。 | ||
| 地址 | 美国俄亥俄 | ||