一种进气装置、反应腔室以及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种进气装置、反应腔室以及等离子体加工设备，进气装置包括进气管，在所述进气管内设有多个独立的反应气体进气通道，在所述进气管上且位于所述托盘的上方设有多层反应气体进气口，每层所述反应气体进气口分别与一所述反应气体进气通道连通，所述反应气体进气口沿所述进气管的长度方向间隔设置，在相邻两层所述反应气体进气口之间设有用于将由不同所述反应气体进气口排出的气体隔离的隔离板，所述隔离板固定在所述进气管上，所述隔离板的自由端位于所述被加工工件内侧的上方位置。该进气装置可以提高反应气体的利用率，降低生产成本。

主权项

一种进气装置，用于向放置在托盘表面的被加工工件输送工艺气体，其包括进气管，在所述进气管内设有多个独立的反应气体进气通道，在所述进气管上且位于所述托盘的上方设有多层反应气体进气口，所述多层反应气体进气口沿所述进气管的长度方向间隔设置，每层所述反应气体进气口分别与一所述反应气体进气通道连通，其特征在于，在相邻两层所述反应气体进气口之间设有用于将由不同所述反应气体进气口排出的气体隔离的隔离板，所述隔离板固定在所述进气管上，所述隔离板的自由端位于所述被加工工件内侧的上方位置。