发明名称 |
一种热板和用于该热板的晶圆自定位装置及方法 |
摘要 |
本发明涉及一种热板和用于该热板的晶圆自定位装置及方法,通过设置至少三个可转动的挡片,来替代原先热板上的若干限位垫圈,在热板上的中心位置围成一个圆形的限位空间;而当晶圆的传送位置有偏差而没有进入该限位空间之内时,通过使该些挡片转动至与热板表面基本垂直,可以将晶圆推送到正确的加热位置。因此,本发明能够避免因为晶圆传送的惯性漂移,而造成热板上的晶圆倾斜状况的发生,有效避免晶圆的返工,减少低良率风险。 |
申请公布号 |
CN103367213A |
申请公布日期 |
2013.10.23 |
申请号 |
CN201210081772.3 |
申请日期 |
2012.03.26 |
申请人 |
上海宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
陈蕾;胡林;鲍晔;周孟兴 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 |
代理人 |
张静洁;徐雯琼 |
主权项 |
一种用于热板的晶圆自定位装置,其特征在于,所述晶圆自定位装置包含在热板(10)上设置的多个挡片(11);每个挡片(11)能够绕其与所述热板(10)连接的支点进行转动,从而改变该挡片(11)与热板(10)的上表面之间的夹角θ;多个所述挡片(11)在所述热板(10)的上表面围成一个限位空间(12);所述限位空间(12)的形状尺寸,与传送到所述热板(10)上准备进行热处理的晶圆(20)的形状尺寸相匹配;传送时位置发生偏差的晶圆(20),会遮挡热板(10)上的其中若干个挡片(11);当被遮挡的若干个挡片(11)转动一定角度时,会与偏离的晶圆(20)相接触,从而产生合力将偏离的晶圆(20)推送到所述限位空间(12)内。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |