一种极紫外辐照材料测试系统

摘要

本发明公开了一种极紫外辐照材料测试系统，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，收集镜用于将EUV辐照汇聚到样品室中；光谱检测室用于安装一个反射镜和一个光谱仪，反射镜用于将来自收集镜室的EUV辐照反射到光谱议；样品室用于容纳所要测试的样品、CCD和能量计，并且能够使样品、CCD和能量计轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。本发明能够得到不同样品的极紫外辐照损伤情况。

主权项

一种极紫外辐照材料测试系统，其特征在于，包括EUV光源室(1)、滤波片室(2)、收集镜室(3)、光谱检测室(4)和样品室(6)，其中所述EUV光源室(1)用于容纳EUV光源(11)，该EUV光源(11)用于辐射出宽谱近软X射线；所述滤波片室(2)用于放置滤波片，该滤波片用于将所述宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；所述收集镜室(3)用于放置收集镜(31)，该收集镜(31)用于将所述EUV辐照汇聚到所述样品室(6)中；所述光谱检测室(4)用于安装一个反射镜(41)和一个光谱仪(42)，所述反射镜(41)用于将来自收集镜室(3)的EUV辐照反射到所述光谱仪(42)；所述样品室(6)用于容纳所要测试的样品(S)、CCD(616)和能量计(617)，并且能够使样品(S)、CCD(616)和能量计(617)轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。