一种简易精密位移台

摘要

本发明涉及到一种简易精密位移台，包括基座、隔振器、固定内六角螺钉、直线导轨，内六角紧定螺钉，微动工作台，压电陶瓷驱动器，直线光栅尺，直线电机。该位移台为精密一维位移台。位移台由于引入了直线电机和压电陶瓷驱动器，相较传统滚珠丝杠模式，大大减少了中间的机械传动环节，传动链长度缩减为零。该位移台可实现大位移快速定位，小位移精密有效输出。该平台具有结构简单，高响应速度，高精度，动刚度高，加减速过程短，运动安静噪音低，效率高等优点。该位移台可用于精密测量与精密加工领域。

主权项

一种简易精密位移台，其特征在于，包括基座（1）、隔振器（2）、固定内六角螺钉（3）、直线导轨（4），内六角紧定螺钉（5），微动工作台（6），压电陶瓷驱动器（7），直线光栅尺（8），直线电机（9）；所述基座（1）为整个位移台的载体，在基座（1）下部安装隔振器（2），两根直线导轨（4）通过固定内六角螺钉（3）紧固在基座（1）上，两个直线电机（9）分别布于直线导轨（4）的同端内侧上，直线电机（9）与微动工作台（6）通过内六角紧定螺钉（5）连接；两个直线电机（9）上装有直线光栅尺（8）；通过直线光栅尺（8）的反馈数据，两个直线电机（9）同步输出精密位移；通过导轨（4）的导向，直线电机（9）和微动工作台（6）无间隙、同步运动；    所述微动工作台（6）采用“Ⅲ”字型布置，工作台的外框通过内六角紧定螺钉（5）与直线电机（9）相连，使直线电机（9）的位移输出传递给微动工作台（6）；微动工作台（6）中央的工作台两侧均布着等长等厚的矩形弹簧片，弹簧片的平行对称布置构成平行四杆机构；压电陶瓷驱动器（7）在保证其与工作台无隙接触的情况下，固定安装在微动工作台（6）的卡槽内；微动工作台（6）内的工作台上设有螺纹安装孔，可以用于安装测量头或微型刀具，以用于精密测量与精密加工；所述直线导轨（4）采用“工”字型导轨，每个导轨各有两侧，一侧通过均布的三个固定内六角螺钉（3）紧固在基座（1）上，另一侧则安装有直线电机（9）。