长晶炉之隔热侧板构造

摘要

本创作系为一种长晶炉之隔热侧板构造，为一多晶矽长晶炉包含有一绝缘笼、一加热器及一冷却底板，前述加热器环设固定于前述绝缘笼内部且靠近于顶部，而前述冷却底板设置于前述绝缘笼内部且位于前述加热器下方，本创作中，所述绝缘笼内部环设有一隔热侧板，前述隔热侧板位于上述加热器与上述冷却底板之间，且围绕于上述冷却底板周围，藉由隔热侧板阻隔热能直接传递至冷却底板，使得冷却底板温度较低散热较快，藉以加大多晶矽长晶炉的垂直温度之过冷度，而可令晶锭成长时晶粒较规律的由下往上成长。