| 摘要 |
本发明提供一种用来管理基板处理资料的电脑实施方法。在集束型工具之电浆处理室中处理基板的同时，可获得基板处理资料。该方法包括接收元资料，该元资料辨识出该基板的辨识与一处理的至少其中之一。该方法另包括从转换器接收处理资料串，每一个处理资料串系与正被监视的处理参数有关。在每一个处理资料串中的个别资料项目系依据第一方法与第二方法的其中一个方法来予以收集。第一方法代表在时间上具周期性的资料集合。第二方法代表发生于当预定事件发生时的资料集合。该方法亦包括将与处理资料串相关的个别资料项目储存在单一档案中。单一档案仅仅储存与被使用来处理基板之单一制作法有关的资料。 |
