首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
曝光装置及其制造方法
摘要
使基板(W)曝光以形成图案之曝光装置(100),具备:相距既定间隔设置之第1、第2机台(14,16),以及配置在两机台彼此间之空间内、包含复数个分别含高刚性零件之高刚性部(24,26,28)的曝光本体部(18)。据此,即使世代更替,亦能使用前一世代之模组(高刚性部)。
申请公布号
TWI412896
申请公布日期
2013.10.21
申请号
TW095149734
申请日期
2006.12.28
申请人
尼康股份有限公司 日本
发明人
蛯原明光
分类号
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址
日本
您可能感兴趣的专利
一种移动制冷设备
一种光热法移动冰的装置
机动车后背门结构
一种交流回馈式蓄电池在线测试仪
用于不同粒径散体自然安息角测量的装置
大气主要成份稳定同位素分析前置装置
智能变电站合并单元电压自动切换控制电路
一种防破坏自助充电桩
一种双屏智能安全信息消防宣传机的框架结构
一种多功能船用主机测速模块
自带多位置除尘的散热装置
一种冷缩电缆附件的扩张装置
一种电子防卫棒防抢夺、抗静电干扰装置
一种可控熏香移动电源
一种卡扣旋转式航空公母插头
罩极电机及其转子
一种防松动铅酸蓄电池端子安装结构
一种含尘废气排放测量装置
在全自动玻璃器皿清洗机上应用的蒸汽冷凝装置
车载充电器及车载充电器PCB板之间的连接装置