研磨组合物用添加剂

摘要

本发明系关于一种可实现稳定之研磨特性之研磨组合物用添加剂。研磨组合物用添加剂中包含1种或2种以上之胺化合物、以及醇。该胺化合物包含四级铵盐。尤其系，当包含高浓度胺化合物之情形时，可藉由包含醇而抑制胺化合物之析出。