光阻液供给回收系统及光阻液回收方法

摘要

本发明提供一种系统及方法，与先前相比，可大幅提高光阻液的回收效率，可降低回收成本并且提高光阻液的再利用率。光阻液供给回收系统，其具备：旋转涂布机250等光阻液涂布装置；规定容量之供给兼回收容器也就是专用容器1，其兼用于向光阻液涂布装置供给光阻液之目的、以及自光阻液涂布装置回收已用过的光阻液之目的；供给配管，其在供给光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接；以及回收配管253，其在回收已用过的光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接。藉此，可省去使用者方面进行回收或再利用之设备负担，从而可大幅削减回收费用与劳力。