用于浸没式微影术的晶圆桌

摘要

本发明系揭示一种可在一浸没式微影术系统的一透镜及一晶圆桌组件之间实在地含纳一液体的方法及装置。根据本发明之一观点，一曝光装置包含一透镜及一晶圆桌组件。该晶圆桌组件具有一顶部表面，其被配置以支撑对着该透镜来移动的一晶圆以及至少一元件。该晶圆的顶部表面及该元件的顶部表面均具有与该晶圆桌组件的顶部表面实际上一样的高度。该晶圆桌组件的整个顶部表面，包含该晶圆的顶部表面、该晶圆桌组件的顶部表面及该至少一元件的顶部表面，系实质平的。