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发明名称
单晶矽上拉用石英玻璃坩埚及其制造方法
摘要
本发明之目的在提供一种利用简单的构成即可防止直胴部上端朝向内侧倾倒的单晶矽上拉用石英玻璃坩埚及其制造方法。;本发明之单晶矽上拉用石英玻璃坩埚系具备有直胴部与底部的单晶矽上拉用石英玻璃坩埚,其特征为:至少在前述直胴部形成假想温度的斜率,且使最外侧的假想温度比最内侧的假想温度低25℃以上。
申请公布号
TWI412633
申请公布日期
2013.10.21
申请号
TW097119747
申请日期
2008.05.28
申请人
信越石英股份有限公司 日本
发明人
大滨康生
分类号
C30B15/10;C03B20/00;F27B14/10
主分类号
C30B15/10
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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