发明名称 |
元件的制作方法及有机半导体层之图案化方法 |
摘要 |
一种元件的制作方法,包括以下步骤:提供一基板,其上形成一有机半导体材料所组成之主动层,形成一图案化之感光层于主动层上,以一蒸气态之溶剂处理主动层,使图案化之感光层的图案转移至主动层,其中蒸气态之溶剂系渗入主动层中。 |
申请公布号 |
TWI413286 |
申请公布日期 |
2013.10.21 |
申请号 |
TW098104927 |
申请日期 |
2009.02.17 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
廖金龙;余建贤;何家充;颜精一 |
分类号 |
H01L51/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L51/00 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |