| 摘要 |
提供一种藉以简单的构成及控制可防止在作业室内部或排气管内部结露原因之低温部的发生而缩短处理时间之减压乾燥装置。;减压乾燥装置10，具备有：作业室上．下部12、14与排气管32、减压泵28、分隔片材料16、热风发生器20及热风导入管34。排气管32被构成连通至作业室上．下部12、14的内部。减压泵28藉由排气管32使作业室上．下部12、14内部减压。分隔片材料16至少在作业室上．下部12、14中围着排气管32之连接部位和排气管32形成闭合空间。热风发生器20及热风导入管34，可供应既定温度之热风至藉分隔片材料16所被闭合之空间内。 |
