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经营范围
发明名称
蚀刻装置
摘要
一种蚀刻装置,其包括基体及储液件,储液件安装于基体上,储液件开设有用于收容蚀刻液之容纳孔。储液件之侧面还开设有与容纳孔连通之喷射孔,蚀刻液从喷射孔喷射而出。蚀刻装置还包括转动安装于基体上之转动件,且转动件与储液件之侧面相对设置。
申请公布号
TWI412502
申请公布日期
2013.10.21
申请号
TW100129472
申请日期
2011.08.17
申请人
鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号
发明人
刘咸柱;陈钜盛;肖兴荣
分类号
C03C15/00
主分类号
C03C15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
新北市土城区自由街2号
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