发明名称 蚀刻装置
摘要 一种蚀刻装置,其包括基体及储液件,储液件安装于基体上,储液件开设有用于收容蚀刻液之容纳孔。储液件之侧面还开设有与容纳孔连通之喷射孔,蚀刻液从喷射孔喷射而出。蚀刻装置还包括转动安装于基体上之转动件,且转动件与储液件之侧面相对设置。
申请公布号 TWI412502 申请公布日期 2013.10.21
申请号 TW100129472 申请日期 2011.08.17
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 刘咸柱;陈钜盛;肖兴荣
分类号 C03C15/00 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
地址 新北市土城区自由街2号