| 摘要 |
Eine Fluidausstoßvorrichtung (100), die folgende Merkmale aufweist: ein isolierendes Keramikmaterial (108); ein zweites Keramikmaterial (110), das mit dem isolierenden Keramikmaterial (108) in Kontakt steht; und einen Gemischtphase-Kompressions-Tantaldünnfilm (112), der auf das zweite Keramikmaterial (110) aufgebracht ist, wobei der Gemischtphase-Kompressions-Tantaldünnfilm (112) ein vordefiniertes Verhältnis zwischenβ- undα-Tantal umfasst, wobei eine Druckspannung des Gemischtphase-Kompressions-Tantaldünnfilms zwischen 1.193 MPa und 1.458 MPa liegt, und wobei das vordefinierte Verhältnis zwischenβ- undα-Tantal zwischen 0,001 und 1.000 liegt.
|
