发明名称 Einrichtung für FinFETs
摘要 <p>Ein FinFET umfasst ein Isolationsgebiet, welches in einem Substrat gebildet ist, eine umgekehrt T-förmige Finne, welche in dem Substrat gebildet ist, wobei ein unterer Bereich der umgekehrt T-förmigen Finne von dem Isolationsgebiet eingeschlossen ist und ein oberer Bereich der umgekehrt T-förmigen Finne über eine obere Fläche des Isolationsgebiets hervorsteht. Der FinFET umfasst weiter eine Gate-Elektrode, welche die umgekehrt T-förmige Finne einhüllt.</p>
申请公布号 DE102013103057(A1) 申请公布日期 2013.10.17
申请号 DE201310103057 申请日期 2013.03.26
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 LIAW, JHON JHY
分类号 H01L29/78;H01L21/762;H01L27/11 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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