具有经控制的孔隙形态的抛光垫

摘要

本发明提供一种具有经控制的孔隙形态的抛光垫，其是化学机械平坦化抛光垫，包括分散于聚合物中的网络构件、形成于垫中的多个孔隙，且所述网络构件的至少一部分连接至所述孔隙的至少一部分。本发明还揭露一种形成此种垫的方法，其包括：提供组合物，所述组合物包含网络构件，以及聚合物及反应性预聚合物中的至少一者；将气体导入所述组合物中；以及使用所述气体在所述组合物中制造孔隙。本发明还揭露一种形成孔隙的方法，其依靠对聚合物或反应性预聚合物内的网络构件施加力并随后移除所述力而形成孔隙。

主权项

一种形成化学机械平坦化抛光垫的方法，包括: 提供组合物，所述组合物包含织物形式的网络构件，以及聚合物及反应性预聚合物的至少一者，其中所述聚合物及反应性预聚合物的至少一者在铸具中施用到所述构件上; 将第一气体导入所述组合物中;以及 使用所述气体在所述组合物中制造多个孔隙; 其中所述孔隙所界定的空间为0.1μm3至1，000，000μm3; 形成抛光垫，包含分散在所述聚合物或所述反应性预聚合物内的织物形式的网络构件，包含所述多个形成在垫中的孔隙，其中至少一部分的所述网络构件是连结到至少一部分的所述孔隙; 其中所述网络构件包括多条可溶性纤维;其中所述纤维所具有的长度介于0.1mm与500mm范围内且直径介于0.1μm至l00μm范围内，同时按抛光垫的体积计以2％至75％的量存在。