主权项 |
一种制造具有多个珀尔帖元件(4)的珀尔帖模块(1)的工艺,所述多个珀尔帖元件(4)位于至少两个衬底(2)之间,所述至少两个衬底(2)是陶瓷衬底并且至少在其侧面上设置有接触表面(3),所述接触表面(3)由铜的金属区域形成,并且在制造中珀尔帖元件(4)通过珀尔帖元件端子侧接合至所述接触表面(3),其中,至少在一个珀尔帖元件端子侧,所述珀尔帖元件(4)的至少一部分经烧结接合连接至所述接触表面(3),并且其中,所述珀尔帖元件(4)的所述至少一部分的制造和烧结接合是在使用具有多个开口(23)的掩模(22)的烧结工艺中进行的,所述工艺还包括步骤:通过直接铜接合、或者使用铜焊焊料元素或选自Hf,Ti,Zr,Nb和Ce的组的材料的活性焊接,在所述至少两个衬底中设置由铜箔形成的接触表面(3);将所述掩模(22)放置在所述至少两个衬底(2)之一上,以使得所述掩模(22)的所述开口(23)分别位于所述衬底(2)的接触表面(3)之上;使用热电材料的粉末混合物以备制作珀尔帖元件(4);用所述粉末混合物填充所述掩模的开口(23);以及通过将所述掩模(22)的各开口(23)中的粉末混合物暴露到大于10bar的烧结压力和烧结温度,在烧结工艺中形成珀尔帖元件(4)并将珀尔帖元件(4)接合到所述接触表面(3)。 |