微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法

摘要

微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法，定向耦合式微波功率传感器由定向微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器组成，定向微波功率耦合器的副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁，MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段；MEMS固支梁下方设有驱动电极；定向微波功率耦合器的耦合输出端口设有终端发热电阻，热电堆设置在终端发热电阻旁，构成终端式微波功率传感器。本发明不但具有终端式微波功率传感器的优点，如低损耗、高灵敏度、宽频带和良好的线性度，而且通过控制MEMS固支梁的驱动电压使该定向耦合式微波功率传感器实现在线监测和不监测两种状态，减少不必要的功率损耗。

主权项

一种微电子机械定向耦合式微波功率传感器，其特征是由四端口的定向微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器（23）组成，以砷化镓衬底（19）为基底；在基底上设置定向微波功率耦合器的主线（5）和副线（6），所述四端口分别为主线输入端口（1）、主线输出端口（2）、副线耦合输出端口（3）和副线隔离端口（4），副线（6）与主线（5）耦合的部分设有MEMS固支梁（9），MEMS固支梁（9）作为副线（6）的一段耦合线段，并位于副线（6）中部；MEMS固支梁（9）下方设有驱动电极（11），对应驱动电极（11）在副线（6）外侧设有电输入压焊块（18），通过引线（17）与驱动电极（11）连接；定向微波功率耦合器的副线耦合输出端口（3）设有终端发热电阻（14－B），热电堆设置在终端发热电阻（14－B）旁，由共面波导CPW构成的副线耦合输出端口（3）、终端发热电阻（14－B）以及靠近终端发热电阻的热电堆构成了基于热电堆的终端式微波功率传感器（23）。