主权项 |
1.一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法,其特征在于:采用平面光波测量传感器系统离焦量;平行光源发出的平面光波入射相位差波前传感器(PD WFS),相位差波前传感器采集离焦面光斑图像,并传输给算法处理系统,算法处理系统利用离焦面远场光斑图像计算系统离焦量;所述离焦量求解算法从获取离焦面远场光斑图像D(u,v)开始,u,v为图像函数定义域坐标,步骤如下:(1)设置循环变量k=0、广义光瞳函数p(x,y)=1、初始离焦波面<img file="FDA00003570140100014.GIF" wi="216" he="67" /><img file="FDA00003570140100015.GIF" wi="168" he="68" />可为任意随机数,根据以上参数构建光瞳面复振幅函数<img file="FDA00003570140100016.GIF" wi="504" he="73" />x,y为波面函数定义域坐标,i为虚数单位<img file="FDA00003570140100017.GIF" wi="133" he="77" />(2)对光瞳面复振幅函数<img file="FDA00003570140100018.GIF" wi="463" he="72" />运用傅里叶变换FT,得到成像面复振幅函数<img file="FDA000035701401000113.GIF" wi="508" he="78" />并用<img file="FDA00003570140100011.GIF" wi="190" he="90" />替换u<sup>k</sup>(u,v),其中D(u,v)为采集的离焦面远场光强分布,获得离焦面远场光斑图像所对应的成像面复振幅函数<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><msqrt><mi>D</mi><mo>,</mo><mrow><mo>(</mo><mi>u</mi><mo>,</mo><mi>v</mi><mo>)</mo></mrow></msqrt><mo>×</mo><mi>exp</mi><mo>[</mo><mi>i</mi><msup><mi>φ</mi><mi>k</mi></msup><mrow><mo>(</mo><mi>u</mi><mo>,</mo><mi>v</mi><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>(3)对成像面复振幅函数<img file="FDA00003570140100013.GIF" wi="494" he="90" />运用傅里叶逆变换IFT,得到光瞳面复振幅函数<img file="FDA000035701401000112.GIF" wi="523" he="76" />其中q<sup>k</sup>(x,y)为估算的光瞳面光强分布,<img file="FDA000035701401000111.GIF" wi="170" he="73" />为估算的光瞳面相位分布;根据离焦面仅包含离焦相差和Zernike多项式的正交性对<img file="FDA000035701401000110.GIF" wi="171" he="72" />加以约束,即仅提取波面<img file="FDA00003570140100019.GIF" wi="175" he="74" />中的离焦分量:<img file="FDA00003570140100021.GIF" wi="592" he="160" /><img file="FDA00003570140100022.GIF" wi="547" he="86" />其中Wf<sub>d</sub>(x,y)为Zernike多项式中的理想离焦波面,Z为波面<img file="FDA00003570140100023.GIF" wi="179" he="79" />中离焦分量对应的Zernike系数;(4)计算当前离焦波面与上一次离焦波面之间的差异<img file="FDA00003570140100024.GIF" wi="630" he="100" />并与指定阈值M比较,如果E<M不成立,利用<img file="FDA00003570140100025.GIF" wi="213" he="80" />和广义光瞳函数p(x,y)构建新的光瞳面复振幅函数<img file="FDA00003570140100026.GIF" wi="548" he="79" />并置k=k+1,进入下一次迭代;如果E<M成立,<img file="FDA00003570140100027.GIF" wi="211" he="79" />即为所求离焦波面,离焦波面的符号通过离焦面光电探测器CCD位于成像系统焦面前后来判断,如果离焦面光电探测器CCD位于系统焦面前,所求离焦量为负<img file="FDA00003570140100028.GIF" wi="459" he="100" />如果离焦面光电探测器CCD位于系统焦面后,所求离焦量为正<img file="FDA00003570140100029.GIF" wi="441" he="99" /> |