发明名称 CZTS太阳电池的PN结及CZTS太阳电池器件的制备方法
摘要 本发明涉及一种CZTS太阳电池的PN结及CZTS太阳电池器件的制备方法。该PN结的制备方法包括提供层叠有第一钼背电极层的第一衬底,制备层叠于第一钼背电极层上的铜锌锡硫薄膜或铜锌锡硒薄膜前驱体;将前驱体进行高温退火,形成吸收层薄膜;制备层叠于吸收层薄膜上的第二钼背电极层;提供第二衬底,并用粘胶将第二衬底粘结在第二钼背电极层上及分离第一衬底和第二衬底,使吸收层薄膜与第一钼背电极层分离,制备依次层叠于吸收层薄膜的远离第二钼背电极层的表面上的硫化镉缓冲层、本征氧化锌层和掺铝氧化锌层,得到PN结的步骤。本发明在吸收层临近钼背电极层的表面上制作PN结,结晶完美,化学组分合适,提高了电池效率。
申请公布号 CN103354252A 申请公布日期 2013.10.16
申请号 CN201310300827.X 申请日期 2013.07.17
申请人 深圳先进技术研究院;香港中文大学 发明人 程冠铭;杨春雷;鲍浪;冯叶;顾光一;徐苗苗;于冰;郭延璐;肖旭东;罗海林
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 吴平
主权项 一种CZTS太阳电池的PN结的制备方法,包括如下步骤:提供层叠有第一钼背电极层的第一衬底,制备层叠于所述第一钼背电极层上的前驱体,所述前驱体为铜锌锡硫薄膜前驱体或铜锌锡硒薄膜前驱体;将所述前驱体进行高温退火,形成层叠于所述第一钼背电极层上的吸收层薄膜,所述吸收层薄膜为铜锌锡硫薄膜太阳电池光吸收层或铜锌锡硒薄膜太阳电池光吸收层;制备层叠于所述吸收层薄膜上的第二钼背电极层;提供第二衬底,并用粘胶将所述第二衬底粘结在所述第二钼背电极层上;及分离所述第一衬底和第二衬底,使所述吸收层薄膜与所述第一钼背电极层分离,制备依次层叠于所述吸收层薄膜的远离所述第二钼背电极层的表面上的硫化镉缓冲层、本征氧化锌层和掺铝氧化锌层,得到CZTS太阳电池的PN结。
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