| 发明名称 | 抗反射涂料组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及抗反射涂料组合物，其包含（i）热致酸产生剂；（ii）包含至少一种芳族基团的可交联聚合物；和（iii）包含至少一种结构（6）单元的聚合物型交联剂，其中R<sub>11</sub>-R<sub>13</sub>独立地选自H、（C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>）烷基和芳族基团，R<sub>14</sub>和R<sub>15</sub>独立地是（C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>）烷基。本发明还涉及使本发明抗反射涂料组合物成像的方法。<img file="DDA00003399670800011.GIF" wi="280" he="320" /> | ||
| 申请公布号 | CN103353706A | 申请公布日期 | 2013.10.16 |
| 申请号 | CN201310254286.1 | 申请日期 | 2007.10.15 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | 金羽圭;吴恒鹏;D·J·阿布达拉;M·内瑟;卢炳宏;张汝志;M·D·拉曼 |
| 分类号 | G03F7/09(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;C09D133/04(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 宓霞 |
| 主权项 | 1.抗反射涂料组合物，包含（i）热致酸产生剂；（ii）包含结构（3）和（4）的单元的可交联丙烯酸酯聚合物，<img file="FDA00003399670600011.GIF" wi="666" he="494" />其中，R<sub>2</sub>-R<sub>7</sub>独立地选自H、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基和C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>亚烷基羟基，R<sub>8</sub>是非芳族基团，R<sub>9</sub>包含芳族结构部分，该芳族结构部分选自未取代的苯基；和（iii）包含至少一种结构（6）单元的聚合物型交联剂，<img file="FDA00003399670600012.GIF" wi="341" he="397" />其中R<sub>11</sub>-R<sub>13</sub>独立地选自H、（C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>）烷基和芳族基团，R<sub>14</sub>和R<sub>15</sub>独立地是（C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>）烷基。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||