反射度分布曲线的建模方法及应用该方法的厚度检测方法以及厚度检测反射仪

摘要

本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度；及积分反射度分布曲线生成步骤，边改变特定波长，边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。

主权项

一种反射度分布曲线建模方法，针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，其特征在于，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分所述强度分布曲线后将其结果设定为所述特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分复合强度分布曲线，并将其结果设定为所述特定波长的输出强度，其中所述复合强度分布曲线为通过对应于任意波长值，将所述反射度分布曲线的反射度值和所述强度分布曲线的强度值相乘，从而由所述反射度分布曲线和所述强度分布曲线结合而成的；积分反射度设定步骤，将把所述特定波长输出强度除以所述特定波长输入强度的商作为所述薄膜层对所述特定波长的积分反射度；及积分反射度分布曲线的生成步骤，边改变所述特定波长，边重复执行所述输入强度设定步骤、所述输出强度设定步骤及所述积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的所述积分反射度分布的积分反射度分布曲线。