具有磁性主轴的机械驱动器

摘要

一种具有磁性主轴的机械驱动器。安装在框架内的驱动部分，用于操纵基板输送臂，其特征在于，包括：至少具有一个定子结构的一框架，该定子包括一个第一马达部和轴承部，在一个同轴主轴磁性支持结构上，其中每个驱动器轴的同轴主轴包括一转子，该转子包括一个第二马达部和转子的轴承部，被配置成与定子的轴承部连接，驱动器第一电动机部分被配置在预定轴的主轴的接口，定子的轴承部的旋转部与第二电动机部分被配置为同轴主轴上固态的基板，其基板的输送臂端部的流平性执行器连接到同轴主轴，通过转子的轴承部分相互作用，更符合市场需求，使用前景更加广阔。

主权项

一种具有磁性主轴的机械驱动器，安装在框架内的驱动部分，用于操纵基板输送臂，其特征在于，包括：至少具有一个定子结构的一框架，该定子包括一个第一马达部和轴承部，在一个同轴主轴磁性支持结构上，其中每个驱动器轴的同轴主轴包括一转子，该转子包括一个第二马达部和转子的轴承部，被配置成与定子的轴承部连接，驱动器第一电动机部分被配置在预定轴的主轴的接口。