| 发明名称 |
OPTICAL CAVITY FURNACE FOR SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2253012(A4) |
申请公布日期 |
2013.10.16 |
| 申请号 |
EP20090758841 |
申请日期 |
2009.03.12 |
| 申请人 |
ALLIANCE FOR SUSTAINABLE ENERGY, LLC |
发明人 |
SOPORI, BHUSHAN L. |
| 分类号 |
H01L21/324;H01L21/67;H05B3/00 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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