电极形成方法及电极形成装置

摘要

提供一种在基板上形成电极的方法及装置，能够以低成本且优异的生产率形成宽度不同的电极。设置两组喷出含光固化性树脂的涂敷液的喷嘴部和对喷出的涂敷液照射光以使其固化的光照射部，各自的照射条件不同。设置在第一头部(5)的喷嘴部(52)和光照射部(53)之间的间隔小于设置在第二头部(7)的喷嘴部(72)和光照射部(73)之间的间隔。因此，在第一头部(5)自涂敷液涂敷到基板(W)起照射光为止的时间较短，形成宽度窄且具有一定高度的电极。另一方面，就第二头部(7)而言，自涂敷液涂敷到基板(W)起照射光为止的时间长，因此涂敷液进而扩散，形成宽度更宽的电极。

主权项

一种电极形成方法，其特征在于，包括：第一工序，使喷出涂敷液的喷嘴相对于基板而在第一方向上进行相对移动，从而向上述基板涂敷上述涂敷液，并通过光照射使涂敷到上述基板的上述涂敷液固化，从而形成第一电极，其中，上述涂敷液含电极材料和光固化性树脂，第二工序，使与上述喷嘴同一形状的喷嘴相对于上述基板而在与上述第一方向不同的第二方向上进行相对移动，从而向上述基板涂敷上述涂敷液，并通过光照射使涂敷到上述基板的上述涂敷液固化，从而形成第二电极；使上述第一工序中的上述光照射的照射条件和上述第二工序中的上述光照射的照射条件不同，从而使上述第一电极的宽度和上述第二电极的宽度不同。