| 发明名称 | 晶圆脱环辅助工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种晶圆脱环辅助工具，包括空心的圆柱形盖子，所述圆柱形盖子的直径根据划片环的直径而定，确保圆柱形盖子盖在芯片上时恰好位于划片环内，在所述圆柱形盖子上设置有把手，所述把手制成近似圆柱体，便于脱环时的揭膜操作，所述圆柱形盖子的材质为PVC或PP或有机玻璃，厚度一般在2-8mm为宜。本实用新型改变了传统蓝膜与划片环的脱环方法，利用本实用新型一种脱环辅助工具盖住芯片进行脱环，有效地避免在脱环过程中芯片之间挤压等导致芯片的崩边、崩角问题，全面提高产品稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN203242606U | 申请公布日期 | 2013.10.16 |
| 申请号 | CN201320208922.2 | 申请日期 | 2013.04.24 |
| 申请人 | 江阴新顺微电子有限公司 | 发明人 | 徐占勤;骆曙康;孙岩;王光伟;冯东明;王新潮 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人 | 唐纫兰;曾丹 |
| 主权项 | 一种晶圆脱环辅助工具，其特征在于它包括空心的圆柱形盖子（1），在所述圆柱形盖子（1）上设置有把手（2）。 | ||
| 地址 | 214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路 | ||