| 发明名称 | 一种柔性面板连续无掩膜光刻装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于柔性面板连续无掩膜光刻方法的柔性面板连续无掩膜光刻装置，其技术方案的要点是，包括基座，所述的基座上设有光刻基板，所述的光刻基板上方设有光刻组件，所述的光刻基板的两侧分别设有卷出装置和收卷装置，所述的光刻基板上设有抽气定位孔，所述的光刻基板的下方设有与所述的抽气定位孔相通的抽吸装置。本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种能连续无掩膜光刻柔性面板的柔性面板连续无掩膜光刻装置。 | ||
| 申请公布号 | CN203241698U | 申请公布日期 | 2013.10.16 |
| 申请号 | CN201320236691.6 | 申请日期 | 2013.05.03 |
| 申请人 | 中山新诺科技有限公司 | 发明人 | 梅文辉;杜卫冲 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人 | 杨连华 |
| 主权项 | 一种柔性面板连续无掩膜光刻装置，其特征在于：包括基座（1），所述的基座（1）上设有光刻基板（2），所述的光刻基板（2）上方设有光刻组件（3），所述的光刻基板（2）的两侧分别设有卷出装置（4）和收卷装置（5），所述的光刻基板（2）上设有抽气定位孔（201），所述的光刻基板（2）的下方设有与所述的抽气定位孔（201）相通的抽吸装置（6）。 | ||
| 地址 | 528400 广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一 | ||