带有电压反馈的电容式微机械超声换能器

摘要

电容式微机械超声换能器(CMUT)的实施方式包括与CMUT串联连接的反馈部件。反馈部件应用对施加在CMUT上的电压的反馈，以在CMUT的驱动期间CMUT的电容改变时影响施加在CMUT上的电压。

主权项

一种包括带有反馈电容器的CMUT的系统，所述系统包括：电容式微机械超声换能器CMUT，其包括：第一电极；第二电极，其与所述第一电极分离开一间隙，使得在所述第一电极和所述第二电极之间存在第一电容；弹簧元件，其支撑所述第二电极，用于使所述第二电极能够朝着所述第一电极移动和远离所述第一电极移动；以及反馈部件，其与所述CMUT串联连接，所述反馈部件提供对施加到所述CMUT上的电压的反馈。