具有带凹槽的环状通孔的裸片堆叠

摘要

包括裸片的裸片堆叠和形成所述裸片堆叠的方法提供用于在多种电子系统中使用的结构，其中所述裸片具有带凹导电槽的环状通孔。在一实施例中，裸片堆叠包括在裸片的顶部上的导电柱，所述导电柱被插入到另一裸片的所述凹导电槽中。

主权项

一种用于裸片堆叠的设备，其包含：衬底，其包括在所述衬底的底表面上、包围所述衬底的一部分的导电环状通孔，所述导电环状通孔具有由所述环状通孔的内壁包围的凹部分；导电层，其覆盖所述凹部分而被配置为导电槽。