真空传感器

摘要

本发明公开了一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在该衬底上的阳极和阴极微电极，该阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，且阴极上覆盖有一维纳米材料。本发明利用了一维纳米材料具有优异的场发射性能，在较低的直流电压下即可产生较大的电流，既安全又便于测量。

主权项

一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及垂直设置在所述衬底上的阳极和阴极微电极，所述的阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，其特征在于，所述的阴极上覆盖有一维纳米材料；所述的阳极和阴极微电极之间的电压为3‑10伏；所述阳极和所述阴极为三维结构，且具有5微米至1毫米的高度。