一种MEMS谐振器补偿系统

摘要

本发明公开了一种MEMS谐振器补偿系统包含MEMS芯片，模数转换器，补偿模块，电荷泵和MEMS驱动电路，其中MEMS芯片包含温度传感器和MEMS谐振器，模数转换器将温度传感器的温度电压信号转换为温度数字信号，补偿模块根据温度数字信号改变输出电压，电荷泵根据输出电压调节MEMS谐振器的偏压，从而调节MEMS谐振器的频率以对MEMS谐振器进行补偿。本发明通过补偿模块根据温度数字信号改变输出电压来调节MEMS谐振器的偏压，从而调节MEMS谐振器的频率来进行补偿，该补偿能够在kHz量级或MHz量级下进行，因此有效地减少了电流消耗。

主权项

一种MEMS谐振器补偿系统，包含MEMS芯片，模数转换器，补偿模块，电荷泵和MEMS驱动电路，其中MEMS芯片包含温度传感器和MEMS谐振器，所述模数转换器将所述温度传感器的温度电压信号转换为温度数字信号，其特征在于，所述补偿模块根据所述温度数字信号改变输出电压，所述电荷泵根据所述输出电压调节所述MEMS谐振器的偏压，从而调节所述MEMS谐振器的频率以对所述MEMS谐振器进行补偿。