发明名称 |
纳米探针的制备方法 |
摘要 |
本申请提供一种纳米探针的制备方法,包括:步骤(1),对硅基或者碳化硅基探针进行表面清洁处理,并在除针尖之外的部分设置遮挡;步骤(2),在所述硅基或者碳化硅基探针表面通过真空蒸发镀膜技术蒸镀或者通过磁控溅射技术溅射纳米粒度的贵金属薄膜、贵金属合金薄膜或者贵金属叠层,并去除所述遮挡;步骤(3),在针尖上增强拉曼光谱TERS设备上应用制得的纳米探针进行TERS实验,根据实验结果统计所述纳米探针的增强性质与制备工艺参数的对应关系;步骤(4),根据所述对应关系调整所述制备工艺参数,重复步骤(1)-(4),直到得到满足预设增强条件的纳米探针。 |
申请公布号 |
CN103353451A |
申请公布日期 |
2013.10.16 |
申请号 |
CN201310278173.5 |
申请日期 |
2013.07.04 |
申请人 |
首都师范大学 |
发明人 |
张利胜;方炎;王培杰;李志鹏 |
分类号 |
G01N21/65(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/65(2006.01)I |
代理机构 |
北京汇智胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11346 |
代理人 |
朱登河 |
主权项 |
一种纳米探针的制备方法,其特征在于,包括:步骤(1),对硅基或者碳化硅基探针进行表面清洁处理,并在除针尖之外的部分设置遮挡;步骤(2),在所述硅基或者碳化硅基探针表面通过真空蒸发镀膜技术蒸镀或者通过磁控溅射技术溅射纳米粒度的贵金属薄膜、贵金属合金薄膜或者贵金属叠层,并去除所述遮挡;步骤(3),在针尖上增强拉曼光谱TERS设备上应用制得的纳米探针进行TERS实验,根据实验结果统计所述纳米探针的增强性质与制备工艺参数的对应关系;步骤(4),根据所述对应关系调整所述制备工艺参数,重复步骤(1)‑(4),直到得到满足预设增强条件的纳米探针。 |
地址 |
100048 北京市海淀区西三环北路105号 |